上海伯东真空产品事业部

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上海伯东美国 HVA 矩形阀 28200系列,真空阀门

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上海伯东美国 HVA 3位真空闸阀 真空插板阀 21700 系列

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上海伯东美国HVA 真空闸阀 真空插板阀 81000 系列

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上海伯东美国 HVA 高真空闸阀 高真空插板阀 11000 系列

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上海伯东美国KRi 考夫曼离子源 KDC 系列

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上海伯东美国 KRI 考夫曼离子源 KDC10,真空镀膜离子源

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上海伯东美国 KRI 考夫曼离子源 KDC160

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上海伯东美国 KRI 考夫曼离子源 KDC40

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上海伯东美国 KRi 考夫曼离子源 KDC75

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上海伯东美国 ATC 微流量空气泄漏测试仪 VE2

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上海伯东 Pfeiffer 全新通用控制器 OmniControl®

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上海伯东 Pfeiffer 冷阴极真空计 IKR 251, IKR261

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上海伯东 Pfeiffer 全量程真空计 PKR251

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上海伯东Pfeiffer皮拉尼真空计 TPR 280, TPR 281

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上海伯东美国 KRi 射频离子源 RFICP 40

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上海伯东美国 KRi 射频离子源 RFICP 100

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上海伯东美国 KRi 射频离子源 RFICP 140

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上海伯东美国 KRi 射频离子源 RFICP 220,实现 8寸芯片蚀刻

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上海伯东美国 KRi 大面积射频离子源 RFICP 380, 满足 300 mm (12英寸)晶圆应用

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上海伯东美国 KRi 大面积射频离子源 RFICP 系列